数据流,曝光能量、晶圆对准精度、光刻胶厚度、数值孔径、焦深参数……
每一个数字都牵动着所有人的神经。
"流片开始。"项目负责人周博远深吸一口气,按下了启动键。
光刻机低沉地嗡鸣起来。
极紫外光以13.5纳米的波长,透过精密反射镜组,一层一层地将电路图案蚀刻在硅片上。
时间一分一秒地过去。
实验室里安静得只剩下设备运转的嗡嗡声和偶尔的键盘敲击声。
一个小时后。
第一片晶圆完成。
检测工程师赵琳将晶圆送入电子显微镜,开始逐区扫描检测。
屏幕上,芯片电路的结构图像一层层展开,如同在放大镜下观察一片精密的微缩森林。
赵琳的手指在键盘上飞快地敲击,统计着每一颗芯片的良品数据。
十分钟后,赵琳抬起头。
她的嘴唇微微颤了一下,"良品率……"赵琳声音有点发颤,"80.3%。"
实验室里安静了两秒,然后——
欢呼起来。
"成了!"
"80%!我们做到了!"
"天哪,80.3%!第一轮流片就到了80%!"
工程师们从座位上跳了起来,有人挥拳,有人鼓掌,有人紧紧拥抱在一起。
周博远站在原地,两眼死死盯着屏幕上的数字,愣了好几秒,然后缓缓地摘下眼镜,用衣袖擦了一下眼角。
80.3%。
芯片行业,超先进制程(2/3/5纳米)初期良品率在50%到70%之间属于可接受范围,稳定量产需要达到80%以上。
低于80%,意味着成本过高,难以盈利。
而他们,第一轮流片,就直接冲过了80%的大关。
这意味着什么?
意味着这台光刻机不仅运转正常,而且状态极佳。
意味着他们可以跳过漫长的良率爬坡阶段,直接进入量产准备。
意味着华为,有了自己的5纳米芯片制造能力。
周博远戴上眼镜,深吸了一口气,努力使自己平静下来:"通知总部,昆仑项目第一阶段目标达成,5纳米制程,良品率80.3%,具备量产条件。"