机械臂将其送入显影机。
所有人都屏住了呼吸,等待着那个最终的判决。
显影完成。
晶圆被送到了高倍电子显微镜下。
图像被投射到了中央大屏幕上。
那一刻。
车间里响起了一片抽气声。
屏幕上,是一排排整齐、锐利、如同刀切豆腐般完美的电路图。
线条笔直,边缘清晰,没有任何驻波效应,没有任何线宽粗糙(LER)。
“测量线宽!”彼得吼道。
“线宽……45.00nm!”
检测员的声音因为极度亢奋而破音了,“误差……小于0.5nm!套刻精度……2nm!”
“轰——!!!”
虽然车间里禁止大声喧哗,但此刻没人顾得上了。
“成功了!我们成功了!”
“45纳米!一次成功!上帝啊!”
“这怎么可能?我们居然一次就做到了完美?”
彼得冲到屏幕前,像个疯子一样抚摸着那张图像,眼泪夺眶而出。
“完美……这是我这辈子见过的最完美的光刻线条!这是工业的奇迹!”
他转过身,看着林平安的眼神里充满了狂热的崇拜,就像是在看一个降临凡间的神祗。
“老板!您知道这意味着什么吗?我们跨过了90纳米,跨过了65纳米,直接干到了45纳米!”
“我们领先了世界整整一代!”
然而,林平安并没有表现出太多的激动。
他只是看了一眼数据,微微皱眉。
“良品率才95%?”
他摇了摇头,“不够。”
“什么?95%还不购?”彼得差点一口气没上来,“老板,这是原型机!第一次曝光!ASmL以前的量产机良品率刚开始也才80%啊!”
“那是他们菜。”
林平安语气淡然,却狂妄至极。
“我们要做的,不是追赶,是碾压。”
“小白,启动‘光刻之神’模式。”林平安再次轻声呼唤。
“收到,先生。正在进行全参数反向优化。”
下一秒。
屏幕上的数据开始疯狂跳动。
那不是几十个参数在变,那是几亿个变量在同时调整!
激光功率、焦距微调、液流速度、工件台加速度、甚至连环境温度的0.01度波动……
小白通过机器学习,在几秒钟内完成了人类工程师需要数年才能完成的“校准循环”。
“优化完毕。参数已更新。”
“再来一次。”林平安下令。
第二张晶圆送入。
曝光。
显影。
检测。
当新的数据跳出来的时候,整个车间彻底安静了。
那种安静,是因为极度的震撼而导致的失语。
良品率:99.9%!
这是一个在半导体制造领域被称为“神之领域”的数字。
这意味着,这台机器生产出来的芯片,几乎没有废品!
这意味着,成本将大幅降低,产能将爆炸式增长!
彼得的双腿一软,直接跪在了地上。
他看着那台银白色的巨兽,嘴唇哆嗦着:
“这不是机器……这是……这是神迹……”
“几分钟……只用了几分钟就完成了几年的校准……”
“老板,您到底是什么人?”
林平安脱下护目镜,露出一张年轻而英俊的脸庞。
他走到彼得面前,伸手将这位世界顶级的技术专家扶了起来。
“我?”
林平安笑了笑,拍了拍彼得的肩膀。
“我只是个相信科学的生意人。”
“彼得,别跪着了。以后这种场面还多着呢,你得习惯。”
他转身,面向所有目瞪口呆的工程师和员工,张开双臂。
“各位。”
“今天,我们创造了历史。”
“我宣布,中国第一台,也是世界第一台量产型浸没式光刻机——”
“【盘古一号】。”
“正式下线!”
“哗——!!!”
掌声、欢呼声、尖叫声,如同海啸一般淹没了整个车间。
有人把帽子扔向空中,有人互相拥抱痛哭,甚至有人激动得晕了过去。
太不容易了!
从被封锁、被嘲笑、被质疑,到今天的一鸣惊人、一飞冲天!
他们仅仅用不到一年的时间,走完了西方三十年的路!
而在这片狂欢的海洋中心。
林平安依然保持着那份独特的冷静。
“盘古开天辟地。”
“从今天起,这片混沌